トレースデータ
レシピがスタートすると自動的にプロセス制御に関するデータが収集されます。
温度データ、ガス流量データやその他データが収集されます。
制御データの比較
異なるロットのプロセス制御データを比較できます。
ロット間でプロセス結果が異なった場合、ロット間の制御状態を比較することで、より早くフィードバックできます。
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