拡散炉ヒーター
長寿命ヒーター VMU-40-007EX互換品
縦型炉ヒーターVMU-40-007EXと置き換え可能なヒーターを提供。
寿命実績比較／プロセス温度 約１，２００℃
TEL純正品 約２年
DSF製互換品 約４年半
容易に置き換えが可能です。
日本国内における拡散炉の状況と提案
現在、日本国内のＩＣメーカー、シリコンメーカー等はその工場の古い拡散炉、ＬＰＣＶＤ装置に対し、充分なトラブル対応、技術サポートが受けられない状況に置かれています。
稼動状況
多くの横型炉が依然フィールドで稼動している。
機構部品は定期メンテナンスにて交換され、
また、ヒーターも交換が行われており、炉体は常に新品に近い状態である。
装置メーカーの対応
このような状況のなか、大手装置メーカーはもはや横型炉のサポートを行わない。
事業を他の会社に移管している場合や完全に撤退している場合もある。
多くの部品は老朽化している。
コントローラーのアップグレードは永久に行われないし、コントローラーの修理もままならない。
現状の問題点
装置トラブル発生した場合、的確な対処がなされない場合が多い。
装置の復旧に時間がかかる。
永久に装置は稼動できない場合もある。
ユーザーは装置に対し将来の不安を抱えている。
解決策＆利点
新規にGMI/ＩＣＣＩコントローラーに交換する。
ＴＥＬ、日立国際、アルバック等各メーカーの装置を同じ操作で取り扱える。
オフィスＰＣに近い簡単なオペレーションで装置を取り扱える。
データ収集機能と拡張性を持つようになる。
