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SLC99／Goldman Data 社製

SLC99とは？

チューブコントローラで標準で下記モジュールが装備されます。
MFCは最大8個、バルブは最大16個制御します。
ヒーターは3ゾーンあるいは5ゾーンを制御します。
拡散とＬＰＣＶＤ用の２種類あります。