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SPC（統計的プロセス制御）

プロセス実行時の各制御データを統計処理することで下記表のように装置の長期トレンドを確認できます。
上記グラフ　：　ＬＰＣＶＤ装置のゲートバルブの状態を表示

ヒーター寿命予測　（断線を直前に検知）

上左グラフ　：　ヒーターの3ヶ月間にわたるデータ
　　　　　　　　　 制御パラメータが変動後、1週間でヒーターの破損が発生
上右グラフ　：　ヒーター交換前後の制御データ