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メンテナンス マネージャー

プロセスの実行回数、日数及びガス流量を設定可能です。
それぞれ項目に対し警告及び装置稼動停止の数値を設定可能です 。
装置稼動停止の数値に達した場合、メンテナンスが実行され、
装置へのアクセス権限を持った担当者にてリセットされるまで装置は稼動できなくなります。

メンテナンス マネージャーを下記に表示します。

maintenance

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