東京エレクトロン
DL３段炉のＴＥＬ製コントローラをJGA/ICCIコントローラに交換
改造前 コントローラ ：8816D/EF-50D/アナロック/DPM/フローチャート
改造後 コントローラ ：GMI-HOST/SLC99/EF-50D/フローチャート
EF-50D及びフローチャート図は既存品を使用
アナロックを取外し温度コントローラを設置
その他のＴＥＬ装置の実績
ＵＬ2604拡散炉(DDC9900)システムのコントローラ交換
XL3段LPCVD炉(CVD2200/AP-1500)のコントローラ交換