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SPC（統計的プロセス制御）

プロセス実行時の各制御データを統計処理することで下記表のように装置の長期トレンドを確認できます。
下記表はＬＰＣＶＤのゲートバルブの状態を示しています。また、分散も表示している。

上左グラフはナショナルセミコンダクタにおける3ヶ月間のヒーターのデーターで制御パラメータが変動後1週間でヒーターの破損が発生した。上右はヒーター交換前後の制御データ。